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常见问题

常见问题

以下是我们搜集的一些客户比较容易关注的常见问题来解答,随着后期对客户问题的进一步搜集,我们将继续更新热点的问题在此予以集中解答。如在这里没有找到您的问题的答案,欢迎给我们留言,我们将尽快给您回复。


1. 那诺中国跟那诺-马斯特之间是什么关系?
答:那诺中国负责那诺-马斯特在中国的商务处理和和技术配套。


2. 那诺-马斯特的技术能力涵盖哪些方面?
答:那诺-马斯特专注于薄膜工艺,但对于薄膜工艺方面的各项技术涵盖面广泛,是极少数技术面可以同时涵盖物理气相沉积,化学气相沉积,干法刻蚀,湿法刻蚀,样品表面处理能力的公司。因此我们的产品可以涵盖磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀、离子束溅射、离子束辅助沉积;PECVD、T-ALD、PEALD、PA-MOCVD、PLD;RIE、ICP、IBE、RIBE、ALE;PIII离子注入,RTP;热真空系统;专利技术的兆声无损清洗机(可应用于单晶圆、掩模板,以及带保护膜的掩模板等的无损清洗,以及更小颗粒的去除)。

 
3. 是否可以提供定制化产品?
答:由于NANO-MASTER的技术涵盖面广,拥有自己独家的样品台和等离子源等核心关键技术,所以我们可以提供强大的定制能力。定制方面可以包含:1)样品尺寸的扩展;2)样品形状的扩展;3)双系统扩展;4)带传输腔的双腔系统扩展;5)集群系统扩展;6)生产系统扩展;7)并且可以在沉积系统中同时集成刻蚀,实现边沉积边刻蚀的应用等;8)太空环境仿真的系统,可应用于太空器件的测试,等等。

 
4. 那诺-马斯特产品的主要技术优势有哪些?
答:那诺-马斯特所有的产品在设计过程中始终关注"NANO-MASTER十要素",具体包含以下几个方面:1)高度的均匀性;2)良好的粘附性;3)干净的沉积/刻蚀;4)良好的控制;5)可重复性;6)易于操作使用;7)可靠性;8)低维护;9)小的占地面积;10)完全自动化的工艺控制。
因此NANO-MASTER的所有产品都可以看到以上的技术优势的呈现。

5. 对于薄膜沉积部分,NANO-MASTER如何实现膜厚原位测量?
答:NANO-MASTER配套的晶振膜厚监控仪,不只是一个测量膜厚的系统,而且可以把测量的膜厚通过闭环控制的方式反馈给主控制软件系统,计算机将自动根据客户所设定的目标膜厚,全自动停止工艺,消除因人工介入造成的低重复性问题。

6. NANO-MASTER的热蒸镀是否可用于有机物的蒸发?
答:热蒸镀系统要用到有机物蒸发,必须要求热蒸镀系统对电流的非常出色的控制,这也是衡量一个热蒸镀系统对电流控制能力的关键指标。NANO-MASTER通过计算机对SCR的自动控制,可以实现非常高精度的对电流的控制,因为我们不但可以用于蒸发真空环境下熔点在2000度以内的金属,也可以用于蒸发熔点在600度以内的有机物。而且可以通过对电流的精确控制和调节,可以准确控制沉积速率和沉积的目标膜厚。

7.NANO-MASTER可否根据客户的应用提供一些定制?
答:具体的定制需要看客户实际的应用要求,我们会给出最合适的建议。有些功能可以在我们无需要定制的情况下为客户实现,这样可以大大节省成本。如果实在需要定制,NANO-MASTER可以以强大的技术能力根据客户的需要来实施方案。

8. 对于PA-MOCVD,相对与传统的MOCVD有何优势?
答:PA-MOCVD是NANO-MASTER全球首家研发并制造的设备,在等离子的辅助下,第一个优势是MOCVD所需要的温度将得以下降,设备的尺寸也可以大大下降;第二个优势是配套NANO-MASTER独家的专利工艺技术,采用N2替代NH3,避免了NH3的使用,一方面节省了后期NH3尾气处理的巨大成本,另一方面把H掺杂降到最低。因此可以获得非常高品质的GaN、AlN等半导体薄膜。

9. 出于预算的控制,NANO-MASTER有哪些双系统可供选择?可否根据我们的需要来配套双系统?
答:NANO-MASTER目前在市面上的双系统包含有RIE/PECVD双系统,RIE/IBE双刻蚀系统,RIE/Sputter双系统,Sputter/PECVD双沉积系统,IBE/Sputter双系统等。总而言之,NANO-MASTER在设计之初就已经考虑了各个系统之间的关联和扩展,因此我们可以支持包含ALD/ALE双系统、IBE/ALD双系统,ICP/PECVD双系统等等在内的任意两套系统之间的双系统配置。此外,我们也可以提供多系统之间的Cluster集群设计。

10. NANO-MASTER的ALD系统有哪些独特的优势吗?
答:除了NANO-MASTER所有产品均具备的“NANO-MASTER十要素”的优势(详细请参考第4个问题的解答)外,NANO-MASTER的ALD系统具有以下几大优势:1)随机的前驱体手套箱配套,提供安全保护;2)可以支持T-ALD和PE-ALD,对于PEALD系统,因为配套我们独家专利技术的ICP源,具有高离子密度(快速)、低电子温度(对薄膜低损伤)、快速的周期(更小的反应空间);3)配套超大面积的ALD Filter,带加热功能的Filter可以吸收没有反应掉的多余的前驱体,之后才进去真空泵系统,确保真空泵的长期稳定,以及对操作人员的安全和环保;4)等离子在超高真空环境下工作,所要沉积的衬底材料同样位于高真空环境下,形成超纯的原子级薄膜;5)对于PEALD系统,我们可以采用N2替代NH3,节省尾气处理的成本/有利环保和人体安全,同时降低H掺杂。


11. NANO-MASTER的售后服务如何提供?
答:NANO-MASTER中国负责大中华区(包含大陆地区、香港地区、台湾地区、澳门地区)的业务和技术支持,NANO-MASTER中国在上海有技术支持中心,可提供本地化的服务支持。