Depositon Systems 沉积系统
 

Etching Systems 刻蚀系统
 

Growth Systems 生长系统
 

Cleaning Systems 清洗系统
 

Other Systems 其它设备
 

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除了以上提到的一些系统之外，我们提供双系统设备，比如RIE/PECVD，Sputter/PECVD，IBE/RIE，IBE/Sputter，IBE/ALD，RIE/Sputter等等任意两套组合的系统。

此外，我们可以根据客户需要定制自动上下片的RTP系统，PIII离子注入机，PLD脉冲激光沉积系统等。并可以根据客户要求提供量产设备的定制支持。如需要更多了解，欢迎联系我们。