偏压样品台

我们的基板使用专利的技术，可以提供优越的性能和均匀的加热功能。NANO-MASTER样品台是RF偏压，水冷和温度可控制的样品台，根据不同的型号，最高温度范围可以从300°C到700°C。对于某些样品台高度是可以调节的，并且基片可以旋转，而在真空侧没有任何的电缆或引线。因为所有的引线、热电偶和水管均位于大气压当中，所以没有短路或电弧问题。NANO-MASTER样品台可以直接安装到客户的系统中。

• 特点
• 选配
• 应用