祝贺江苏大学磁控溅射系统成功应用六周年

2022-04-21

江苏大学

江苏大学的磁控溅射系统成功验收应用一周年之际，那诺-马斯特中国有限公司正式表达祝贺，自验收开始，截止目前为止，该磁控溅射系统运行稳定正常。
该系统给用户提供了RF溅射能力和DC直流溅射能力，可以支持金属溅射、导磁材料溅射，以及介质材料溅射和序列溅射，和反应溅射。该系统在客户的微纳工艺的应用方面提供了重要的作用，系统展现出快速溅射能力、高度的均匀性、高重复性和稳定性。