北京理工大学RIE-PECVD顺利安装验收
2022-04-21
2017年7月，北京理工大学的RIE-PECVD双系统顺利安装验收。这套设备是NANO-MASTER极富特色的双系统设备，一套中实现了RIE反应离子刻蚀工艺，同时具备PECVD等离子增强化学气相沉积的工艺能力，既避免客户担心的交叉污染问题，又为实验室节省了宝贵的空间和预算，是大学院校和科研机构的热门选择。
随着该系统的安装验收，目前我们已经实现在北大、南大、浙大、吉大等重点大学的重点实验室完成该系统的布局。该系统表明了NANO-MASTER的双系统一贯的设计紧凑、自动化工艺控制、高重复性、快速真空能力、真空调节快速稳定、高均匀性等优势。得到客户的满意肯定。