先进院磁控溅射镀膜系统顺利安装验收

2022-04-21

2017年八月初，深圳先进院磁控溅射镀膜设备的安装条件已经具备。在那诺-马斯特国内的团队和美国工程师的努力下，NANO-MASTER NSC-3500型真空设备顺利安装调试并完成验收。此套设备配置自动机械手臂，加上标配的LabView自动控制软件及触摸屏控制的PC计算机，使得该设备在性能表现和用户操作体验上达到了完美的结合。

设备的实验结果表明了NANO-MASTER的磁控溅射系统一贯的设计紧凑、自动化控制、高重复性、快速真空能力、真空调节快速稳定、高均匀性成膜、出色的薄膜粘附力等优势，得到客户的满意肯定。