G4K为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持
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中国中车（之前是南车）的微波等离子去胶机成功验收应用一周年之际，那诺中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截止目前为止，该微波等离子去胶机运行稳定正常。G4K为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持
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该系统给用户提供微波等离子去胶、打底膜的能力，可以支持一次40片的6"晶圆片的批处理。系统配套法拉第笼，可以屏蔽静电对晶圆片的影响。该系统在客户的生产工艺的应用方面提供了重要的作用。G4K为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持
