vc9为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持

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湖北文理学院的RIE/PE双功能系统成功验收两周年之际，那诺-马斯特中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截止目前为止，该双功能系统运行稳定正常。vc9为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持
该系统给用户提供了各向异性刻蚀（RIE刻蚀）和各向同性刻蚀（PE刻蚀）双模式的刻蚀能力，刻蚀的应用涵盖面广，一套系统同时支持了RIE刻蚀机和等离子刻蚀机，在大大节省价格的同时，又节省了实验室宝贵的空间。vc9为科研和工业客户提供物理气相沉积、化学气相沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀等薄膜工艺系统的全套解决方案和支持